石英谐振器及其形成方法与流程

　　自从模拟射频通信技术于20世纪90年代初发展以来射频前端模块逐渐成为通信工具的核心组件在所有射频前端模块中，石英谐振器已经成为发展势头猛、发展前景大的部件。 随着无线通信技术的高速发展，5g通信协议越来越成熟，市场对石英谐振器的各方面性能提出了更严格的标准。石英谐振器的性能由构成滤波器的谐振器单元决定。 在目前的滤波器中，薄膜体声波谐振器因其体积小、插入损耗低、带外减少大、品质因数高、工作频率高、功率容量大、抗静电冲击性能良好等特点，成为5g应用的理想滤波器之一，那么，下面一起了解下石英谐振器及其形成方法与流程吧!

　　通常，薄膜弹性波谐振器具备两个薄膜电极，在两个薄膜电极之间设有压电薄膜层，通过压电薄膜层在交变电场下产生振动，通过该振动激励沿压电薄膜层的厚度方向传播的体弹性波，该声波沿着上下电极与空气的边界面被反射当声波以刚好半个波长的奇数倍在压电薄膜层中传播时，就会形成驻波振动，但目前制备的腔式薄膜体声波谐振器插入损耗大，不能满足高性能射频系统的需要。

　　石英谐振器技术实现要素：

　　本发明解决的课题是提供一种提高石英谐振器及其形成方法。

　　为了解决上述课题，本发明石英谐振器的形成方法包括：电极、二电极、三电极、第四电极和第五电极; 二电极，位于所述压电层上; 所述电极和所述二电极的一方或双方是包括与所述压电体层相对的金属层和位于比所述金属层更靠所述压电体层侧的位置的二金属层的复合层叠体，所述金属层的表面粗糙度小于所述二金属层的表面粗糙度，所述金属层的电阻率

　　因此，本发明提供一种石英谐振器，包括形成电极、形成电极和形成二电极。 在所述电极上形成压电层工序、在所述压电层上形成二电极的工序、所述一电极及所述二电极的一方或两方是包括与所述压电体层相对的一金属层和与所述金属层相比位于所述压电体层侧的二金属层的复合层叠体，所述一金属层的表面粗糙度

　　石英谐振器与现有技术相比，本发明的技术具有以下优点。

　　在本发明的石英谐振器的形成方法中，所述一电极和所述二电极的一方或双方是包括与所述压电层相对的一金属层和比所述一金属层位于所述压电层相反侧的二金属层的复合层叠，所述一金属层对应材料的电阻率比所述二金属层对应材料的电阻率小.在所述一电极和所述二电极均为复合层叠情况下，所述二金属层对应材料的电阻率小于所述一金属层对应材料的电阻率，因此与所述一电极和所述二电极仅由一金属层构成的情况相比，一电极和所述二电极的总电阻小; 另外，在所述一电极上形成压电层过程中，所述压电层形成在表面粗糙度小的所述一金属层上，由此，所述压电层在晶体的生长方向上的均匀性良好，所述压电层的形成质量良好; 综上所述，在信号通过谐振器的过程中，所述一电极和二电极的总电阻小，所述压电层的形成质量好，从而能够减少谐振器的插入损耗，有利于提高所述谐振器的性能。